六羰基铬 Cr(CO)₆

4N 级高纯金属有机前驱体,面向半导体 ALD/CVD 铬薄膜沉积,作为纯铭新材料前驱体产品矩阵的重要成员,提供稳定国产供应。

4N 纯度 ALD / CVD 前驱体 铬薄膜沉积
产品照片待补充 · 暂以规格书为核心展示

技术规格

产品名称六羰基铬 Cr(CO)₆(4N 级 A01 系列)
化学式Cr(CO)₆
CAS 号14255-35-2
纯度(主含量)≥ 99.99%(4N 级)
主要应用半导体 ALD/CVD 铬薄膜沉积、金属互连与扩散阻挡
前驱体矩阵纯铭新材料 30+ 前驱体产品线成员(W / Cr / Mo / Co / Hf / Ta 等)

* 完整指标(纯度、金属杂质、蒸气压)以随货 COA 质检单与技术规格书为准。

应用领域

半导体金属薄膜沉积

💻

半导体 ALD / CVD

作为铬前驱体用于原子层沉积与化学气相沉积,制备铬薄膜,适用于金属互连与阻挡层。

🧪

前驱体产品矩阵

属于纯铭新材料 30+ 高纯前驱体产品线,可与客户其他前驱体需求协同采购。

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国产替代

以自主可控的国产前驱体,替代进口材料,降低供应链风险。

资料下载

技术规格与质检单

* 产品照片正在拍摄补充中,敬请期待。

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